• تشکر و قدردانی (4)
• چکیده (5)
• فهرست جدول‌ها (12)
• فهرست شکل‌ها (13)
• فصل1. مقدمه (19)
  • 1-1. تاریخچه مدارات مجتمع (19)
  • 2-1. کوچک‌سازی فناوری 11F CMOS (21)
  • 3-1. محدودیت بازدهی (بهره‌وری) انرژی در ترانزیستورهای CMOS (23)
  • 4-1. شکستن محدودیت بهره‌وری (بازدهی) انرژی CMOS (29)
  • 5-1. خلاصه (32)
• فصل2. مروری بر سیستم‌های میکرو/نانو الکترومکانیکی (33)
  • 2-1. مقدمه (33)
  • 2-2. فناوری MEMS/NEMS (33)
  • 3-2. MEMS در مقابل NEMS (34)
  • 2-3-1. مشخصات (34)
  • 2-3-2. فیزیک (35)
  • 3-3-2. ساخت و تولید (36)
  • 1-3-3-2. رویکرد بالا به پایین (36)
  • 2-3-3-2. رویکرد پایین به بالا (36)
  • 4-2. ساختار NEMS (37)
  • 2-4-1. تیرک‌های پایه55F (37)
  • 2-4-2. پل (تیرک دو سمت ثابت شده)56F (38)
  • 5-2. مُدهای کاری MEMS/NEMS (38)
  • 2-5-1. مُد سوئیچینگ (شبه استاتیک59F ) (38)
  • 2-5-2. مُد رزونانس (آکوستیک یا صوتی) (39)
  • 6-2. روش‌های مختلف فعالسازی (تحریک) MEMS/NEMS (39)
  • 7-2. مواد مورد استفاده در MEMS/NEMS (40)
  • 8-2. محاسبات MEMS/NEMS (40)
  • 9-2. خلاصه (41)
• فصل3. مفاهیم مکانیکی کاربردی در نانو رله‌های الکترومکانیکی (42)
  • 3-1. مقدمه (42)
  • 3-2. تنش عمودی66F (42)
  • 3-3. کُرنش (43)
  • 4-3. مدول یانگ68F (44)
  • 5-3. نسبت پواسون71F (45)
  • 6-3. تنش و کرنش برشی72F (46)
  • 7-3. انبساط حرارتی خطی73F (47)
  • 8-3. ضریب کیفیت74F (48)
  • 9-3. میرایی75F و عوامل موثر بر آن (49)
  • 3-10. خم شدن تیرک (میله)80F (49)
  • 11-3. خلاصه (52)
• فصل4. انواع سوئیچ‌های الکترومکانیکی (از لحاظ تحریک) (53)
  • 1-4. مقدمه (53)
  • 2-4. طبقه‌بندی سوئیچ‌های MEMS بر اساس اصول تحریک (56)
  • 4-2-1. سوئیچ‌های اینرسی غیرفعال (پسیو) (56)
  • 2-2-4. سوئیچ‌های الکترواستاتیک (58)
  • 3-2-4. سوئیچ‌های الکترومغناطیسی (60)
  • 4-2-4. سوئیچ‌های پیزوالکتریک (61)
  • 5-2-4. سوئیچ‌های الکتروحرارتی (الکتروگرمایی) (63)
  • 6-2-4. سوئیچ‌های چند محرکه (64)
  • 3-4. فاکتورهای مهم برای بهبود عملکرد سوئیچ‌ها (64)
  • 4-4. مقایسه کلی سوئیچ‌های MEMS بر اساس تحریک (66)
  • 5-4. خلاصه (67)
• فصل 5. انواع مختلف و تجزیه و تحلیل سوئیچ‌های میکرو الکترومکانیکی با تحریک الکترواستاتیکی (68)
  • 1-5. مقدمه (68)
  • 5-2. انواع مختلف سوئیچ‌های میکروالکترومکانیکی (68)
  • 1-2-5. رله 2 ترمیناله (2T)123F (70)
  • 2-2-5. رله 3 ترمیناله (3T)125F (72)
  • 3-2-5. رله 4 ترمیناله (4T)126F (73)
  • 4-2-5. رله چند سورس/درین (خروجی)128F (74)
  • 3-5. مُدهای کاری رله‌های الکترومکانیکی با تحریک الکترواستاتیک (PI و 129F NPI) (75)
  • 4-5. تجزیه تحلیل انرژی و ولتاژ در رله ‏[14] (79)
  • 1-4-5. رله‌های مُد NPI (79)
  • 2-4-5. رله‌های مُد PI (80)
  • 5-5. محدودیت‌ها ‏[14] (82)
  • 6-5. تجزیه و تحلیل رله‌های الکترواستاتیک با بایاس بدنه ‏[14] (83)
  • 1-6-5. مقدمه‌ای بر رله‌های الکترواستاتیکی با بایاس بدنه (83)
  • 2-6-5. تجزیه و تحلیل ولتاژ و انرژی در رله‌های الکترواستاتیکی با بایاس بدنه ‏[14] (85)
  • 1-2-6-5. مُد NPI (85)
  • 2-2-6-5. مُد PI ‏[14] (88)
  • 7-5. خلاصه (90)
• فصل6. سوئیچ‌الکترومکانیکی با تحریک الکترواستاتیکی با اعمال ولتاژ بدنه (91)
  • 1-6. مقدمه (91)
  • 2-6. ساختار و نحوه عملکرد رله 6 ترمیناله (91)
  • 3-6. مشخصه‌های کاری یک رله 6 ترمیناله (93)
  • 1-3-6. مشخصه شبه استاتیک ولتاژ-جریان (I-V) (93)
  • 2-3-6. مشخصه‌ی دینامیک (94)
  • 1-2-3-6. ولتاژ PI دینامیک (95)
  • 2-2-3-6. ولتاژ آزادسازی (,-.) (96)
  • 3-2-3-6. تاخیر روشن شدن رله (,-.) (96)
  • 4-2-3-6. . مقاومت تماس130F (RC) (97)
  • 4-6. اثرات بایاس بدنه برروی مشخصه‌های رله الکترواستاتیکی (98)
  • 1-4-6. ضربه سرعت برروی نقاط اتصال131F (98)
  • 2-4-6. اثر بایاس بدنه برروی مقاومت تماس و ولتاژ هیسترزیس (101)
  • 3-4-6. تاثیر بایاس بدنه بر روی تاخیر (,-.) (103)
  • 6-4-4. مصالحه بین انرژی و تاخیر در رله‌هایی با بایاس بدنه (104)
  • 5-6. بهینه سازی حاصل‌ضرب تاخیر-انرژی رله الکترواستاتیکی NEM (107)
  • 1-5-6. بهینه‌سازی پارامترها (107)
  • 1-1-5-6. تغییرات ,-.، ,-. و ,-. برای بهینه‌سازی عملکرد رله (107)
  • 6-6. خلاصه (110)
• فصل7. روش تحقیق (111)
• فصل8. تحلیل مولفه‌ها و بهینه‌سازی (119)
  • 8-1. مقدمه (119)
  • 2-8. رله 4 ترمیناله (119)
  • 3-8. بدون اعمال ولتاژ بدنه (121)
  • 1-3-8. تحلیل ایستای کشش144F (121)
  • 2-3-8. تحلیل زمان سوئیچینگ (123)
  • 3-3-8. بهینه‌سازی عملکرد سوئیچ (126)
  • 1-3-3-8. تحلیل ایستای کشش (126)
  • 2-3-3-8. زمان سوئیچینگ (132)
  • 4-8. با اعمال ولتاژ بدنه (137)
  • 1-4-8. تحلیل ایستای کشش (138)
  • 2-4-8. تحلیل زمان سوئیچینگ (142)
  • 5-8. تحلیل زمان سوئیچینگ با تغییر مواد (146)
  • 6-8. خلاصه‌ی بهینه‌سازی‌ها (148)
  • 1-6-8. بدون اعمال ولتاژ بدنه (148)
  • 1-1-6-8. تحلیل ایستای کشش (149)
  • 2-1-6-8. . تحلیل زمان سوئیچینگ (149)
  • 2-6-8. با اعمال ولتاژ بدنه (150)
  • 1-2-6-8. تحلیل ایستای کشش (150)
  • 2-2-6-8. تحلیل زمان سوئیچینگ (150)
  • 7-8. نکاتی در رابطه با بهینه‌سازی (151)
  • 8-8. خلاصه (151)
• فصل9. نتیجه‌گیری و پیشنهادات (153)
• منابع (155)
• Abstract (167)